申報項目

XL?SCAN快速幅面激光同步加工系統

標準XL?SCAN裝置的示意圖

主要用途：

更大幅面，更高吞吐量，更高精度，實現光斑距離和脈沖能量的同步控制、激光功率斜坡和偏轉變角控制等

產品主要技術指標描述

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激光材料加工：微鉆孔 – 玻璃切割 – 打標

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XL?SCAN方法可以同步協調控制工件運動系統、掃描儀和激光調制。XL?SCAN控制軟件自動將所需的圖案軌跡分成掃描儀的路徑、XY位移平臺的路徑和激光光斑的控制。掃描儀接收短距離的高頻運動信號。具有長行程的定位平臺獲取低頻率并擴展工作區。同步執行兩個運動。

產品特點

XL?SCAN自動化解決方案的特點

·?-?更大的工藝區

·?-?更高的吞吐量

·?-?可達微米級的更高加工精度

·?- No stitching errors

·?-?高動態且無平臺振動的平穩加工

·?- 自動激光控制，例如 光斑距離控制(SDC)

·?-?多個掃描頭和工件運動系統功能

產品創新

· 更大的工藝區和更高的吞吐量

? ? 加工大視場的傳統方法采用“步進和掃描”法，該方法將加工區劃分為單獨的部分。這種分段式加工的速度較慢，并且在邊界處產生拼接錯誤。XL SCAN提供了一個由PI運動系統的長行程擴展的工作區，并允許在擴展視場上快速連續運動而不會出現拼接錯誤。

· 更高的精度

? ? XL SCAN方法利用了excelliSCAN掃描頭的零跟蹤誤差。結合XL SCAN軌跡規劃、先進的加速度限制運動控制以及具有相應的動態性、直線度、平面度和精度的PI運動系統，可實現高工藝精度。掃描頭的工藝精度與加工點距掃描場中心的距離成正比。XL SCAN使掃描頭能夠接近與精度直接相關的FOV的中心工作。

· 光斑距離和脈沖能量的同步控制

? ? 可以同步控制脈沖能量和光斑距離。光斑距離控制(SDC)向激光器輸出單個脈沖或多個脈沖。SDC允許單位長度的恒定能量沉積。觸發激光脈沖基于行進距離且與移動速度和激光路徑的圖案無關?？梢栽诟髯缘淖畲笏俣认绿幚砬€和直線段，同時保持精度和更大可能的吞吐量。

· 激光功率斜坡和偏轉變角控制

對于某些加工操作，可能需要定義沿某個路徑的特定激光功率。XL SCAN允許用戶專門為路徑的不同部分定義功率級別。此外，激光光斑尺寸取決于掃描頭的偏轉角。XL SCAN的偏轉變角激光控制使能量密度保持恒定，并能夠減少沿激光路徑的光斑尺寸變化。

市場情況

在大面積上加工高密度結構，如PCB的激光鉆孔或激光打標，需要提供高精度和高吞吐量的解決方案。多軸定位系統與高動態振鏡掃描儀的組合可以滿足工業生產的需求。syncAXIS同步控制PI XY位移平臺和excelliSCAN振鏡掃描系統，即所謂的XL?SCAN方法，允許在大面積上連續操作，從而避免了空閑時間并消除了拼接錯誤。通過各平臺的行程擴展視場的能力具有以下優點，即可以在精度、光斑尺寸和性能方面固定并保持光學器件。